Vorlage - VO/23/20060/31  

Sachverhalt: 

Die Infineon Technologies AG (kurz Infineon) betreibt am Standort in Regensburg, Wernerwerkstr. 2, verschiedene Anlagen zur Fertigung von Halbleiterprodukten mit unterschiedlichen Einsatzgebieten. Hierzu gehört auch eine Anlage zur Oberflächenbehandlung mit organischen Lösungsmitteln, welche in Nr. 5.1.1.1 des Anhangs 1 der Verordnung über genehmigungsbedürftige Anlagen (4. BImSchV) eingestuft ist.

Im Jahr 2018 wurde eine wesentliche Änderung der Anlage durch die Erhöhung des Verbrauchs an Lösemitteln auf 1.500 t/a, die bereichsweise Zuordnung der genehmigungsrelevanten Produktionsbereiche und Veränderungen in der Abluftführung angezeigt, welche mit Bescheid vom 26.06.2019 genehmigt wurde.

Infineon plant die genehmigte Anlage durch folgende Maßnahmen zu ändern:

• Austausch des Verbrenners der zentralen Abluftreinigungsanlage RS003 für die lösemittelhaltige Abluft aus Geb. 15 durch zwei redundante Aktivkohlefilter.
• Erhöhung des Emissionsgrenzwertes für C-Gesamt (Gesamtkohlenstoff) von derzeit 20 mg/m³ auf 50 mg/m³ nach der Aufkonzentration bei den Abreinigungsanlagen RS001, RS002 und RS003.

Während die Abluft aus den Gebäuden 13, 15A, 16 und 17 unproblematisch in der Abreinigung ist, führt der hohe HMDS-Gehalt (Hexamethyldisilizan) der Abluft aus dem Gebäude 15 zu einer hohen Staubentwicklung (SiO2) bei der Verbrennung. Dieser Staub lagert sich im Wärmetauscher und den nachgelagerten Leitungen ab.

Zur Abreinigung der Wärmetauscher und des Abluftstrangs aus Gebäude 15 laufen Haupt- und Redundanzanlage (RS003 und RS004) im Wechselbetrieb, während an der jeweils außer Betrieb befindlichen Anlage am Wärmetauscher aufwändige Reinigungen aufgrund dieser Staubablagerungen (SiO2) erfolgen.

Durch die am 16.08.2022 angezeigten und geplanten Erdgas-Substitution an allen zentralen Lösemittelverbrennungsanlagen durch die Umrüstung auf Zweistoffbrennersysteme zum Betrieb mit Heizöl sowie durch die oben beschriebenen Ablagerungen in den Wärmetauschern und im Leitungsnetz nach der Verbrennung, sind an den Lösemittelverbrennungsanlagen für Gebäude 15 (RS003 und RS004) umfangreiche Sustaining- und Erweiterungsmaßnahmen notwendig.

Daher soll die sowohl technisch als auch wirtschaftlich bessere Alternative – nämlich die Abreinigung der lösemittelhaltigen Abluft aus Gebäude 15 mittels Adsorbtion durch Aktivkohle erfolgen.

Die dadurch entstehende Änderung des Emissionsverhaltens aufgrund des für die Abreinigung mit Aktivkohle geltenden Grenzwerts nach TA Luft für C-Gesamt von 50 mg/m³ statt wie bisher nach Verbrennung von 20 mg/m³ ist eine wesentliche Änderung der Anlage. Das beantragte Vorhaben ist daher als wesentliche Änderung i. S. v. § 16 Bundes-Immissionsschutzgesetz (BImSchG) i. V. m. Nr. 5.1.1.1, Spalte c, Buchstabe G des Anhangs 1 zur Verordnung über genehmigungsbedürftige Anlagen (4. BImSchV) genehmigungspflichtig. Das Genehmigungsverfahren ist dabei nach § 10 BImSchG im förmlichen Verfahren durchzuführen.

Zeitgleich wurde für das Vorhaben ein Antrag nach § 16 Abs. 2 BImSchG gestellt, wonach von der öffentlichen Bekanntmachung sowie der Auslegung des Antrags und der Unterlagen abgesehen werden soll. Diesem Antrag konnte stattgegeben werden, da die beantragten Änderungen an der Abluftreinigungsanlage wesentlich zur Verbesserung der Luftreinhaltung beitragen und somit unter Beachtung der für erforderlich gehaltenen Nebenbestimmungen keine nachteiligen Auswirkungen auf die in § 1 BImSchG genannten Schutzgüter zu erwarten sind.

Mit Antrag vom 16.02.2023 beantragte Infineon nunmehr die immissionsschutzrechtliche Genehmigung für die oben genannten Änderungen an der Abluftreinigungsanlage. Die Inbetriebnahme der geänderten Anlage soll unmittelbar nach Erhalt der Genehmigung erfolgen.

Im Rahmen des Genehmigungsverfahrens wurden die fachlichen Stellungnahmen der Regierung der Oberpfalz – Gewerbeaufsichtsamt –, des Sachbereichs technischer Umweltschutz und der fachkundigen Stelle der Wasserwirtschaft beim Umweltamt sowie des Amtes für Brand- und Katastrophenschutz der Stadt Regensburg eingeholt.

Die beteiligten Fachstellen kamen nach Prüfung der Antragsunterlagen übereinstimmend zu dem Ergebnis, dass das Vorhaben genehmigungsfähig ist. Dies bedeutet, dass die Erfüllung der die Errichtung und den Betrieb betreffenden Pflichten aus den speziellen Bestimmungen des Bundes-Immissionsschutzgesetzes sichergestellt ist, die Belange des Arbeitsschutzes gewahrt sind und andere öffentlich-rechtliche Vorschriften nicht entgegenstehen. Da somit die Voraussetzungen des § 6 Abs. 1 BImSchG erfüllt sind, hat die Infineon Technologies AG damit einen Rechtsanspruch auf Erteilung der beantragten immissionsschutzrechtlichen Genehmigung, da es sich hierbei um eine gebundene Entscheidung handelt.

Das Umweltamt beabsichtigt daher die beantragte Genehmigung, mit den jeweils für erforderlich gehaltenen Nebenbestimmungen, zu erteilen.

Der Ausschuss beschließt:

Die Verwaltung wird beauftragt, der Infineon Technologies AG die Genehmigung zur wesentlichen Änderung der genehmigungsbedürftigen Anlage zur Oberflächenbehandlung durch den Austausch des Verbrenners der Abluftreinigungsanlage RS003 durch zwei redundante Aktivkohlefilter sowie die Erhöhung eines Emissionsgrenzwertes am Standort in der Wernerwerkstraße 2 in Regensburg zu erteilen. 

Anlagen:

1 Schrägluftbild Standort Infineon

1 Prüfbericht Klimavorbehalt Stufe 3